無定形結構薄膜在環(huán)境溫度下是穩(wěn)定的。它既包含有不規(guī)則的網(wǎng)絡結構(玻璃態(tài))，也包括隨機密堆積的結構。前者主要出現(xiàn)在氧化物薄膜、元素半導體薄膜和硫化物薄膜之中，后者主要出現(xiàn)在合金薄膜之中。可以認為，不規(guī)則的網(wǎng)絡結構是兩種互相貫通的隨機密堆積結構組成。用衍射法研究時，這種結構在X射線衍射譜圖中呈現(xiàn)很寬的散射峰，在電子衍射圖中則顯示出很寬的彌散形光環(huán)。